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      等離子清洗機
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      首頁 新聞資訊 等離子清洗 小型石英等離子清洗機安裝與操作說明

      小型石英等離子清洗機安裝與操作說明

      小型石英等離子清洗機設備安裝與操作使用說明如下:

      5.1初始安裝時,遵循下列步驟:

      第一步: 連接好等離子清洗機與真空泵之間的真空管路,緊固好O型卡和鎖緊帽,做到連接處密封且不漏氣。

      第二步: 接通供電電源和真空泵電源,在此之前檢查所有按鈕必須處于復位狀態,同時檢查所供電源插座的L、N、E的接線是否與機箱后的AC220V輸入插頭相一致,以免發生危險動作。

      第三步: 第一次開機,不做其它操作,直接打開機體上紅色電源開關、真空泵開關,輕輕推關腔門,然后按綠色啟動鍵抽真空,目的是去潮除濕,同時檢查是否有漏氣部位:聽漏氣聲響;拉動真空倉門是否密封;觀察壓力表到達-100Kpa左右;若無上述狀況即為正常

      第四步: A、打開電源,先在顯示屏里設定清洗時間;

      B、將托盤承載的產品放入反應室內;

      C、輕推反應腔門,按面板上綠色啟動開關,真空泵開始工作。

      D、壓力表真空值-101KPa左右,看到離子輝光放電現象,進入處理狀態;同時可設定功率大小、反應氣體注入量;(反應氣體是根據工藝需求選配,不使用時鎖緊關閉,)

      5.3 使用操作步驟

      5.3.1 自動狀態下運行處理

      等離子清洗機使用操作方法


      (圖5.3.1主機界面)

      等離子清洗機使用操作方法

      (圖5.3.2功能畫面)

      等離子清洗機使用操作方法

      (圖5.3.3參數畫面)

      1. 進入“主機界面”(圖5.3.1主機界面),點擊“下一頁”進入“功能畫面”(圖5.3.2功能畫面)選擇“參數頁面”(圖5.3.3參數畫面)修改清洗時間或清除清洗數據。

      2. 點擊“下一頁”進入“手動頁面”將氧氣氬氣閥門設置為打開狀態,返回主機界面。

      3. 調節功率,功率調節范圍80%-100%,根據實驗需求進行調節。

      4. 將被處理物放置真空腔內,關好腔門,按下啟動按鈕,開始抽真空。

      5. 待腔體產生輝光,根據實驗需求,手動調節流量計旋鈕添加輔助性氣體。

      6. 到達處理時間后,平衡閥自動復原,3秒左右恢復常壓,無進氣聲響時,腔門自動打開。

      7. 打開腔門,取出被處理物,一個處理過程結束。

      ____以上各命令都可在鍵下終止,回到復位狀態。所有數字量都可自由調整,確認鍵后記憶保存,斷電不丟。

      5.4手動狀態下運行處理

      等離子清洗機使用操作方法


      (5.4.1手動狀態下操作頁面)

      1. 調節功率,功率調節范圍80%-100%,根據實驗需求進行調節。

      2. 將被處理物體放置到倉內,關好倉門,按下啟動鈕,開始抽真空。

      3. 真空度達到要求時,按下射頻電源鈕(打開狀態為:黃色燈亮“開”),加入射頻高壓,處理過程開始。

      4. 待腔體產生輝光,根據實驗需求,打開氧氣氬氣閥門開關(打開狀態為:黃色燈亮“開”),手動調節流量計旋鈕添加輔助性氣體。

      5. 到達處理時間后,復原平衡閥鈕,3秒左右恢復常壓,無進氣聲響時,腔門自動打開。

      6. 打開腔門,取出被處理物,一個處理過程結束。

      在手動狀態下,可設定氧氣閥、氬氣閥、真空泵、射頻電源、平衡閥的開關選擇,進行數據工作。

      5.5氣體使用注意事項:

      ①在觸摸屏的手動畫面打開氣閥;

      ②腔內激發輝光后,再扭開流量計注入;

      ③兩路氣體,機體前面板上的流量計與機體背面的氣孔口為對應一致接入工作;

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